RENNER Pumpen in der Halbleiterindustrie
In Reinraumumgebungen werden auch an Pumpsysteme höchste Anforderungen gestellt. Hermetisch gekapselte Pumpen von RENNER bringen hierfür die besten Voraussetzungen mit; zum Beispiel für die Wafer-Herstellung oder bei der Silicium-Behandlung mittels Sprüh- oder Tauchätzen.